动态镀膜装置及其动态镀膜方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202211632285.1
申请日
2022-12-19
公开(公告)号
CN115976485B
公开(公告)日
2025-08-05
发明(设计)人
张永胜 解传佳 武瑞军 彭孝龙 杨肸曦
申请人
苏州迈为科技股份有限公司
申请人地址
215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
IPC主分类号
C23C14/56
IPC分类号
C23C14/54 C23C16/54 C23C16/52
代理机构
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
别亮亮
法律状态
授权
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
镀膜方法及其镀膜装置 [P]. 
唐健 ;
范宾 ;
三浦俊彦 ;
渡边优 ;
黄志飞 .
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[2]
镀膜装置及其镀膜方法 [P]. 
陈文荣 ;
陈正士 ;
李聪 .
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[3]
一种镀膜装置及其镀膜方法 [P]. 
戴文勤 ;
程朝阳 ;
廖新 .
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[4]
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刘镭 ;
郭远军 ;
武帅 ;
杨振怀 ;
张川东 ;
刘宏 ;
胡琅 ;
胡强 .
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[5]
镀膜装置及镀膜方法 [P]. 
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[6]
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[7]
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[8]
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王冬冬 ;
钱涛 .
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[9]
镀膜设备及其镀膜方法 [P]. 
钱政羽 ;
王冬冬 ;
钱涛 .
中国专利 :CN117660915B ,2024-06-14
[10]
镀膜设备及其镀膜方法 [P]. 
宗坚 .
中国专利 :CN113454265B ,2021-09-28