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单晶炉排气管道清洁装置及单晶炉

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510563386.5
申请日：
2025-04-30
公开(公告)号：
CN120330867A
公开(公告)日：
2025-07-18
发明(设计)人：
马旭武 马玉怀 杨凯 王黎光
申请人：
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址：
750000 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号
IPC主分类号：
C30B15/00
IPC分类号：
F27D25/00
代理机构：
宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105
代理人：
于娜娜
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-05 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 15/00申请日:20250430
2025-07-18 公开 公开
共 50 条
[1]
单晶炉排气管道清理装置、方法及单晶炉 [P]. 
伊冉 ;
张友海 ;
杨凯 ;
芮阳 ;
王黎光 ;
曹启刚 ;
蔡瑞 ;
万佳乐 .
中国专利 :CN120714975A ,2025-09-30
[2]
一种单晶炉排气管道及单晶炉 [P]. 
陈海云 .
中国专利 :CN211522363U ,2020-09-18
[3]
单晶炉及其排气管道 [P]. 
白剑铭 ;
王晓雷 .
中国专利 :CN202766661U ,2013-03-06
[4]
管道自动清理装置及单晶炉的排气管道 [P]. 
张占勇 ;
赵会刚 ;
张晓朋 .
中国专利 :CN216262505U ,2022-04-12
[5]
单晶炉排气管及其单晶炉 [P]. 
连强 ;
尹耀文 ;
姜勇 ;
吴廷廷 .
中国专利 :CN222729961U ,2025-04-08
[6]
一种单晶炉排气管道 [P]. 
张伟灵 ;
苏铭华 ;
沈惠群 ;
张鑫宇 ;
董永波 ;
吕刃 .
中国专利 :CN220364618U ,2024-01-19
[7]
单晶炉排气管除尘装置 [P]. 
袁玉平 .
中国专利 :CN211005721U ,2020-07-14
[8]
一种单晶炉排气管结构及单晶炉 [P]. 
周小东 ;
马伟萍 ;
乔乐 ;
刘学金 ;
杨家辉 .
中国专利 :CN213266780U ,2021-05-25
[9]
一种单晶炉排气管道导气筒 [P]. 
陈效贤 ;
罗才军 ;
马自成 ;
袁中华 .
中国专利 :CN222908145U ,2025-05-27
[10]
一种单晶炉排气管道疏通装置 [P]. 
张学强 ;
黄永恩 ;
范全东 ;
路鹏 .
中国专利 :CN203820930U ,2014-09-10
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