一种气体输送柜及气体输送设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422169080.5
申请日
2024-09-04
公开(公告)号
CN223121212U
公开(公告)日
2025-07-18
发明(设计)人
顾鑫 吴凯健 李海宝
申请人
上海正帆科技股份有限公司 江苏正帆半导体设备有限公司
申请人地址
200241 上海市闵行区春永路55号2幢
IPC主分类号
F17D5/00
IPC分类号
F17D3/01 F17D1/04
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
胡娟娟
法律状态
授权
国省代码
江苏省 泰州市
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共 50 条
[1]
气体输送设备 [P]. 
吴凯健 ;
刁亚宇 .
中国专利 :CN114636101B ,2024-06-25
[2]
气体输送设备 [P]. 
吴凯健 ;
刁亚宇 .
中国专利 :CN114636101A ,2022-06-17
[3]
气体分阀箱及气体输送设备 [P]. 
尚华 ;
张慧 ;
蔡可辉 .
中国专利 :CN108050390A ,2018-05-18
[4]
气体分阀箱及气体输送设备 [P]. 
尚华 ;
张慧 ;
蔡可辉 .
中国专利 :CN207778025U ,2018-08-28
[5]
气体分阀箱及气体输送设备 [P]. 
尚华 ;
张慧 ;
蔡可辉 .
中国专利 :CN108050390B ,2024-03-26
[6]
气体输送装置 [P]. 
戴维伯顿 .
中国专利 :CN1202832A ,1998-12-23
[7]
一种气体输送装置 [P]. 
付晓倩 .
中国专利 :CN220891877U ,2024-05-03
[8]
一种全自动特殊气体输送柜 [P]. 
李超 ;
陈伟才 ;
殷志亮 ;
郑孙校 .
中国专利 :CN117847421A ,2024-04-09
[9]
一种全自动特殊气体输送柜 [P]. 
李超 ;
陈伟才 ;
殷志亮 ;
郑孙校 .
中国专利 :CN117847421B ,2024-05-31
[10]
一种环保设备气体输送装置 [P]. 
李银涛 .
中国专利 :CN210510739U ,2020-05-12