晶圆盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422424194.X

申请日：

2024-10-08

公开(公告)号：

CN223181098U

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

程明星

申请人：

深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司

申请人地址：

518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

代理机构：

北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851

代理人：

于沈阳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆输送盒 [P].

许俊 ;

顾玲英 .

中国专利 :CN201112363Y ,2008-09-10

[2]

晶圆输送盒 [P].

霍栋 ;

侯大维 ;

钱洪涛 ;

杨洪春 ;

吕秋玲 .

中国专利 :CN201142319Y ,2008-10-29

[3]

晶圆传输盒 [P].

肖志坚 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201163617Y ,2008-12-10

[4]

晶圆盒底盘及晶圆盒 [P].

董健 ;

陈思安 ;

张珏 ;

姚笛 .

中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06

[5]

邱铭隆 ;

杨宗益 ;

陈延方 .

中国专利 :CN208507640U ,2019-02-15

[6]

庄祈龙 ;

许俊 ;

高海林 ;

时寒 .

中国专利 :CN201323191Y ,2009-10-07

[7]

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN204011386U ,2014-12-10

[8]

周欢 ;

石缚凤 .

中国专利 :CN205609491U ,2016-09-28

[9]

申杉杉 ;

杜亚 ;

钱洪涛 ;

孙彬 .

中国专利 :CN204361063U ,2015-05-27

[10]

姜再培 ;

李祥福 ;

汪少军 .

中国专利 :CN201918372U ,2011-08-03

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