共 50 条
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レチクル容器内での離間のためのインサート[ja]
被引：0
申请号：
JP20240575399
申请日：
2023-06-20
公开(公告)号：
JP2025521566A
公开(公告)日：
2025-07-10
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/673
IPC分类号：
B65D85/86
G03F1/66
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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