一种氧化铪薄膜及其制备方法和应用

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专利类型
发明
申请号
CN202410623745.7
申请日
2024-05-20
公开(公告)号
CN118668177B
公开(公告)日
2025-08-05
发明(设计)人
霍岩 李禾禾 毛鸿超 曲胜伟 董岐 肖楠
申请人
大连恒坤新材料有限公司
申请人地址
116103 辽宁省大连市金普新区松木岛化工园区松源街
IPC主分类号
C23C16/40
IPC分类号
C23C16/50
代理机构
厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282
代理人
赖秀华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 南京市
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共 50 条
[1]
一种氧化铪薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
霍岩 ;
李禾禾 ;
毛鸿超 ;
曲胜伟 ;
董岐 ;
肖楠 .
中国专利 :CN118668177A ,2024-09-20
[2]
一种电子级氧化铪及其制备方法和应用 [P]. 
黄绍荣 ;
胡小冬 ;
胡冬燕 ;
李帅 .
中国专利 :CN120483248A ,2025-08-15
[3]
一种氧化铪纳米颗粒及其制备方法和应用 [P]. 
谷战军 ;
汪诚艳 ;
刘瑞雪 ;
闫海丽 .
中国专利 :CN114906874A ,2022-08-16
[4]
一种氧化锆/氧化铪铁电薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
王萱 ;
孙中琳 ;
刘尚 ;
刘大铕 .
中国专利 :CN111763917B ,2020-10-13
[5]
一种氧化铪陶瓷及其制备方法和应用 [P]. 
翟会敏 ;
杨超 ;
周玥 ;
杨德勇 .
中国专利 :CN120058357B ,2025-08-12
[6]
一种氧化铪陶瓷及其制备方法和应用 [P]. 
翟会敏 ;
杨超 ;
周玥 ;
杨德勇 .
中国专利 :CN120058357A ,2025-05-30
[7]
一种氧化铪复合薄膜及其制备方法 [P]. 
焦宏飞 ;
钮信尚 ;
汲小川 ;
张锦龙 ;
马彬 ;
程鑫彬 ;
王占山 .
中国专利 :CN116288154B ,2025-05-16
[8]
一种正交相氧化铪基铁电薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
彭强祥 ;
王泽奇 ;
曾斌建 ;
廖敏 ;
杨琼 .
中国专利 :CN113668062A ,2021-11-19
[9]
一种氧化铪薄膜的制备方法 [P]. 
刘畅 ;
刘晓阳 .
中国专利 :CN114438458A ,2022-05-06
[10]
一种钛酸锶/氧化铪锆薄膜异质结及其制备方法和应用 [P]. 
金克新 ;
朱华培 ;
尹航 ;
闫虹 .
中国专利 :CN118825057A ,2024-10-22