含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510067983.9
申请日
2025-01-16
公开(公告)号
CN120329340A
公开(公告)日
2025-07-18
发明(设计)人
长町伸宏 小林直贵 郡大佑 石绵健汰 岩森颂平
申请人
信越化学工业株式会社
申请人地址
日本
IPC主分类号
C07F7/08
IPC分类号
C07F7/28 C07C33/28 C07C35/38 G03F1/56 G03F1/76 G03F7/004
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇;李茂家
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN118239972A ,2024-06-25
[2]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
郡大佑 ;
石绵健汰 .
日本专利 :CN118561892A ,2024-08-30
[3]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN118307578A ,2024-07-09
[4]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
石绵健汰 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN120923535A ,2025-11-11
[5]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法 [P]. 
岩森颂平 ;
小林直贵 ;
郡大佑 ;
石绵健汰 ;
长町伸宏 .
日本专利 :CN120192340A ,2025-06-24
[6]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法 [P]. 
岩森颂平 ;
小林直贵 ;
郡大佑 ;
石绵健汰 ;
长町伸宏 .
日本专利 :CN120192535A ,2025-06-24
[7]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
石绵健汰 ;
泷泽彼方 ;
岩森颂平 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN120209023A ,2025-06-27
[8]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
石绵健汰 ;
泷泽彼方 ;
岩森颂平 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN120209021A ,2025-06-27
[9]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
石绵健汰 ;
泷泽彼方 ;
岩森颂平 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN120209022A ,2025-06-27
[10]
含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法 [P]. 
小林直贵 ;
长町伸宏 ;
郡大佑 .
日本专利 :CN118005930A ,2024-05-10