多晶硅的制造装置、制造方法及多晶硅

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080069173.2

申请日：

2020-09-24

公开(公告)号：

CN114502509B

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

石川浩一

申请人：

株式会社德山

申请人地址：

日本山口县

IPC主分类号：

C01B33/035

IPC分类号：

B01D46/24 B01D46/58

代理机构：

北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728

代理人：

郑世奇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

多晶硅的制造装置、制造方法及多晶硅 [P].

石川浩一 .

中国专利 :CN114502509A ,2022-05-13

[2]

多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅 [P].

漆原诚 ;

水岛一树 .

中国专利 :CN101956232B ,2011-01-26

[3]

多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P].

黑泽靖志 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN103328380A ,2013-09-25

[4]

多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P].

黑泽靖志 ;

祢津茂义 ;

星野成大 .

中国专利 :CN103702938B ,2014-04-02

[5]

多晶硅制造系统、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P].

祢津茂义 ;

小黑晓二 ;

清水孝明 ;

黑泽靖志 ;

久米史高 .

中国专利 :CN102498063A ,2012-06-13

[6]

多晶硅制造装置以及多晶硅制造方法 [P].

大久保秀一 ;

山口雅嗣 .

中国专利 :CN103153856A ,2013-06-12

[7]

多晶硅制造装置 [P].

朴成殷 ;

金知雄 ;

李熙东 .

中国专利 :CN108025918A ,2018-05-11

[8]

多晶硅制造装置 [P].

朴成殷 ;

李熙东 ;

金知雄 .

中国专利 :CN107921403A ,2018-04-17

[9]

多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭 [P].

续桥浩司 ;

胁田三郎 ;

池田洋 ;

金井昌弘 .

中国专利 :CN103003200A ,2013-03-27

[10]

多晶硅制造装置以及多晶硅 [P].

冈田哲郎 ;

星野成大 ;

石田昌彦 .

中国专利 :CN111560650A ,2020-08-21

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