ターボ分子真空ポンプの排気路における反応副生成物の堆積物をモニタリングする装置および方法[ja]

被引:0
申请号
JP20220568409
申请日
2021-04-16
公开(公告)号
JP7713471B2
公开(公告)日
2025-07-25
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
F04D19/04
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[8]
化学気相堆積中におけるチタンおよびケイ化チタンの選択性を強化するための方法および装置[ja] [P]. 
KURATOMI TAKASHI ;
CHEN I-CHENG ;
AVGERINOS V GELATOS ;
LEI PINGYAN ;
ZHANG MEI ;
TANG XIANMIN .
日本专利 :JP2023060085A ,2023-04-27