一种含硅聚合物在纳米沟槽结构填充中的应用及含硅聚合物与制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510712504.4

申请日：

2025-05-30

公开(公告)号：

CN120230292B

公开(公告)日：

2025-08-15

发明(设计)人：

李鹏飞张宗波徐彩虹

申请人：

中国科学院化学研究所

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北1街中国科学院化学研究所

IPC主分类号：

C08G77/26

IPC分类号：

H01L21/768 C09D183/08

代理机构：

北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386

代理人：

赵洋洋

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-15	授权	授权
2025-07-01	公开	公开
2025-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C08G 77/26申请日:20250530

共 50 条

[1]

一种含硅聚合物在纳米沟槽结构填充中的应用及含硅聚合物与制备方法 [P].

李鹏飞 ;

张宗波 ;

徐彩虹 .

中国专利 :CN120230292A ,2025-07-01

[2]

含硅聚合物涂布的颗粒 [P].

F·布拉斯伯格 ;

A·鲁兹 ;

I·施实科夫 ;

D·J·吉尔伯特 ;

W·罗德 .

中国专利 :CN106413876B ,2017-02-15

[3]

含硅聚合物,其制备方法,和可固化的聚合物组合物 [P].

森田好次 ;

谷口佳范 ;

植木浩 .

中国专利 :CN102015839A ,2011-04-13

[4]

一种星形含硅聚合物及其制备方法与应用 [P].

高建华 ;

杨成东 ;

王英峰 ;

郝望龙 ;

邹素芬 ;

张海霞 ;

谢辉 .

中国专利 :CN104119517A ,2014-10-29

[5]

一种含硅聚合物凝胶的制备方法 [P].

谭小勇 ;

孙国明 ;

崔媛媛 ;

朱云飞 .

中国专利 :CN118772345A ,2024-10-15

[6]

含硅聚合物絮凝剂 [P].

宋爱容 ;

D.史泰格 ;

魏昕宇 ;

张磊 .

中国专利 :CN109641163B ,2019-04-16

[7]

一种含硅聚合物助剂及其制备方法 [P].

罗建勋 ;

冯彦娟 .

中国专利 :CN112920349B ,2021-06-08

[8]

一种含硅聚合物的处理方法及其应用 [P].

姜涛 ;

伦志红 ;

黄铃 ;

杨娟 .

中国专利 :CN109752222A ,2019-05-14

[9]

一种含硅聚合物多孔材料的制备方法 [P].

杨欢 .

中国专利 :CN106279510A ,2017-01-04

[10]

一种含硅聚合物的过滤装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN218166169U ,2022-12-30

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