气体输送装置、气体输送系统和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510526370.7

申请日：

2022-12-25

公开(公告)号：

CN120565384A

公开(公告)日：

2025-08-29

发明(设计)人：

张新云管长乐王春雷

申请人：

北京屹唐半导体科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

C23C16/455 C23C16/52 H01L21/67

代理机构：

北京易光知识产权代理有限公司 11596

代理人：

金爱静;王英

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-29	公开	公开
2025-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20221225

共 50 条

[1]

气体输送装置、气体输送系统和等离子体处理装置 [P].

张新云 ;

管长乐 ;

王春雷 .

中国专利 :CN116031132B ,2025-04-11

[2]

气体输送装置及等离子体处理装置 [P].

魏强 .

中国专利 :CN105590825A ,2016-05-18

[3]

气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置 [P].

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN112928008A ,2021-06-08

[4]

等离子体处理装置中气体输送系统的耐腐蚀结构 [P].

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴迪 ;

关瑜 ;

陈星建 ;

刘身健 ;

倪图强 .

中国专利 :CN112017932B ,2020-12-01

[5]

一种耐腐蚀气体输送部件及其等离子体处理装置 [P].

苏宜龙 ;

左涛涛 ;

陈妙娟 .

中国专利 :CN112713073A ,2021-04-27

[6]

一种耐腐蚀气体输送部件及其等离子体处理装置 [P].

苏宜龙 ;

左涛涛 ;

陈妙娟 .

中国专利 :CN112713073B ,2024-03-12

[7]

气体供应装置及等离子体处理装置 [P].

张亦涛 ;

左涛涛 ;

倪图强 .

中国专利 :CN104103484B ,2014-10-15

[8]

气体传热等离子体处理装置 [P].

铃木正树 ;

福井祥二 ;

筒井裕二 ;

山本重之 ;

田中靖夫 .

中国专利 :CN1090816C ,1996-12-25

[9]

气体供给系统、等离子体处理装置和等离子体处理装置的应用方法 [P].

泽地淳 ;

佐佐木则和 ;

山岛淳 ;

佐藤好保 ;

野上健一 .

中国专利 :CN106575615B ,2017-04-19

[10]

气体导流环、气体供应装置及等离子体处理装置 [P].

谢小兵 ;

王俊 ;

刘身健 .

中国专利 :CN105529237B ,2016-04-27

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