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極紫外線リソグラフィのための組成物および関連する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20250512944
申请日：
2023-08-30
公开(公告)号：
JP2025528942A
公开(公告)日：
2025-09-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F19/00
IPC分类号：
C07F7/18
C07F7/22
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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