一种超快扫描干涉仪

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510909687.9
申请日
2025-07-02
公开(公告)号
CN120627954A
公开(公告)日
2025-09-12
发明(设计)人
曹玉龙 肖霁航 彭琛 周文超 魏继锋 邓鸿璐 常艳 沙子杰 魏蔚 李晨成
申请人
中国工程物理研究院应用电子学研究所
申请人地址
621900 四川省绵阳市游仙区绵山路64号919-1015信箱
IPC主分类号
G01B11/24
IPC分类号
G01M11/02
代理机构
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人
宋晨晓
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种折射旋转扫描干涉仪 [P]. 
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冯明春 ;
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[2]
一种转动扫描干涉仪 [P]. 
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林中 ;
张知廉 .
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[3]
一种转动扫描干涉仪 [P]. 
陈卫文 ;
林中 ;
张知廉 .
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[4]
一种扫描频域干涉仪 [P]. 
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[5]
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[6]
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陈祥桢 ;
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[7]
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[9]
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R.耶尔格 ;
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[10]
干涉仪 [P]. 
M.迈斯纳 .
中国专利 :CN105509634A ,2016-04-20