一种等离子清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422532257.3

申请日：

2024-10-18

公开(公告)号：

CN223337969U

公开(公告)日：

2025-09-16

发明(设计)人：

龚文志邵寿潜李永杰张亮张晓军黄承语

申请人：

深圳市矩阵多元科技有限公司

申请人地址：

518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼

IPC主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B13/00 H01L21/67 H01J37/32

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

易彬

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-16	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体用等离子清洗装置 [P].

尹通燮 .

中国专利 :CN106796873B ,2017-05-31

[2]

DBD等离子清洗装置 [P].

刘鑫培 ;

朱小刚 ;

刘慧敏 .

中国专利 :CN212018797U ,2020-11-27

[3]

一种等离子体清洗装置 [P].

张楠林 ;

庄李施 .

中国专利 :CN213887438U ,2021-08-06

[4]

一种等离子清洗装置 [P].

韦友吉 ;

杨义平 ;

李辉 ;

张秋根 ;

孟凡涛 ;

郭兰省 ;

周鸿 ;

黄子龙 ;

王俊 ;

党辉 ;

黄祥虎 ;

高云峰 .

中国专利 :CN213051881U ,2021-04-27

[5]

一种等离子清洗装置 [P].

梁春梅 ;

姜晓林 .

中国专利 :CN214078253U ,2021-08-31

[6]

一种等离子清洗装置 [P].

边铁民 .

中国专利 :CN220678833U ,2024-03-29

[7]

一种等离子清洗装置 [P].

杨长州 ;

李耀勇 ;

程培坚 ;

王西照 .

中国专利 :CN220837022U ,2024-04-26

[8]

一种等离子清洗装置 [P].

徐俊成 ;

尹影 ;

江伟 ;

庞浩 .

中国专利 :CN111299253B ,2020-06-19

[9]

一种等离子清洗装置 [P].

朱有豪 ;

朱孝桂 ;

苏华明 .

中国专利 :CN216026773U ,2022-03-15

[10]

一种等离子清洗装置 [P].

王毅 .

中国专利 :CN110076141A ,2019-08-02

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