一种单晶炉副室内壁清扫装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422598796.7

申请日：

2024-10-28

公开(公告)号：

CN223373297U

公开(公告)日：

2025-09-23

发明(设计)人：

张晓虹关树军洪华路建华

申请人：

乐山市京运通半导体材料有限公司

申请人地址：

610000 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街10号

IPC主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B29/06 F27D25/00

代理机构：

成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276

代理人：

李朝虎

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶炉副室清扫装置 [P].

刘英江 ;

王江山 ;

李广哲 .

中国专利 :CN203295650U ,2013-11-20

[2]

一种单晶炉副室清扫装置 [P].

王建立 ;

张稳 ;

赵群 .

中国专利 :CN221602738U ,2024-08-27

[3]

一种用于单晶炉副室的清扫装置 [P].

张晓虹 ;

关树军 ;

洪华 ;

路建华 .

中国专利 :CN223505822U ,2025-11-04

[4]

一种太阳能单晶炉副室清扫装置 [P].

张波 ;

刘进 ;

赵彩霞 ;

赵科巍 ;

罗晓斌 ;

张晓东 .

中国专利 :CN204530018U ,2015-08-05

[5]

一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置 [P].

王新海 ;

张永军 ;

李俊涛 .

中国专利 :CN203917314U ,2014-11-05

[6]

一种单晶炉炉筒清扫装置 [P].

郭炎平 .

中国专利 :CN212597277U ,2021-02-26

[7]

一种单晶炉炉筒清扫装置 [P].

张燕青 .

中国专利 :CN202881439U ,2013-04-17

[8]

一种单晶炉炉筒清扫装置 [P].

高林峰 ;

叶春 ;

赵煜 .

中国专利 :CN222631611U ,2025-03-18

[9]

单晶炉副室清扫工装 [P].

王忠保 .

中国专利 :CN213033205U ,2021-04-23

[10]

一种单晶炉副炉 [P].

査建洪 ;

施宇峰 ;

査如德 .

中国专利 :CN201901723U ,2011-07-20

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