学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

一种双量程加速度传感器结构及制作方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310563736.9
申请日：
2023-05-18
公开(公告)号：
CN119001144B
公开(公告)日：
2025-09-12
发明(设计)人：
王家畴 郑梦瑶 李昕欣
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址：
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号：
G01P15/12
IPC分类号：
G01P1/00
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
授权
国省代码：
北京市
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-12 授权 授权
2024-12-10 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01P 15/12申请日:20230518
2024-11-22 公开 公开
共 50 条
[1]
一种双量程加速度传感器结构及制作方法 [P]. 
王家畴 ;
郑梦瑶 ;
李昕欣 .
中国专利 :CN119001144A ,2024-11-22
[2]
加速度传感器 [P]. 
本藏义信 ;
山本道治 ;
幸谷吉晃 ;
森正树 ;
加古英儿 ;
玄番弘荣 ;
浅野巧 ;
石川尚树 .
中国专利 :CN100443900C ,2005-11-09
[3]
加速度传感器 [P]. 
本藏义信 ;
山本道治 ;
幸谷吉晃 ;
森正树 ;
加古英儿 ;
玄番弘荣 ;
浅野巧 ;
石川尚树 .
中国专利 :CN1938593A ,2007-03-28
[4]
低量程加速度传感器 [P]. 
李永红 ;
阎贵平 ;
王敬文 ;
张保宁 ;
刘国忠 ;
侯兴辉 .
中国专利 :CN2662251Y ,2004-12-08
[5]
高灵敏度加速度传感器结构的制作方法 [P]. 
李昕欣 ;
王家畴 .
中国专利 :CN110182753B ,2019-08-30
[6]
加速度传感器结构与加速度传感器 [P]. 
李诺伦 ;
庄瑞芬 ;
毛应林 ;
朱启发 .
中国专利 :CN117647662B ,2024-04-05
[7]
加速度传感器结构与加速度传感器 [P]. 
李诺伦 ;
庄瑞芬 ;
毛应林 ;
朱启发 .
中国专利 :CN117647662A ,2024-03-05
[8]
加速度传感器结构与加速度传感器 [P]. 
李诺伦 ;
庄瑞芬 ;
杨进 ;
朱启发 .
中国专利 :CN222105499U ,2024-12-03
[9]
一种MEMS加速度传感器的加工方法及加速度传感器 [P]. 
周志健 ;
陈磊 ;
邝国华 .
中国专利 :CN104991086A ,2015-10-21
[10]
一种低量程加速度传感器 [P]. 
杜诗雨 ;
耿岩 ;
高萌 .
中国专利 :CN215768632U ,2022-02-08
12345