一种化学机械抛光垫及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510815029.3

申请日：

2025-06-18

公开(公告)号：

CN120680426A

公开(公告)日：

2025-09-23

发明(设计)人：

王福正王文芳董栋

申请人：

彤程电子材料（常州）有限公司上海彤程电子材料有限公司

申请人地址：

213213 江苏省常州市金坛区尧塘街道亿晶路9号

IPC主分类号：

B24B37/24

IPC分类号：

B24B37/00 B24D18/00 C08L63/00 C08L75/04

代理机构：

北京精金石知识产权代理有限公司 11470

代理人：

臧雅丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/24申请日:20250618
2025-09-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光垫及其制备方法和应用 [P].

苏建修 ;

王占奎 ;

李勇峰 ;

李海波 ;

赵红远 ;

张亚奇 ;

逄明华 ;

祁婉婷 .

中国专利 :CN113579993A ,2021-11-02

[2]

化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫 [P].

梅英杰 ;

鲁航 ;

王凯 ;

田骐源 ;

袁文杰 ;

高彦升 ;

闫晨凯 .

中国专利 :CN118721051B ,2025-08-29

[3]

化学机械抛光垫的抛光层的制备方法和化学机械抛光垫 [P].

梅英杰 ;

鲁航 ;

王凯 ;

田骐源 ;

袁文杰 ;

高彦升 ;

闫晨凯 .

中国专利 :CN118721051A ,2024-10-01

[4]

化学机械抛光垫的聚氨酯抛光层及其制备方法和应用、抛光垫 [P].

罗建勋 ;

王凯 ;

田骐源 ;

方璞 .

中国专利 :CN119039558A ,2024-11-29

[5]

化学机械抛光垫、制备方法及其应用 [P].

谢毓 ;

王凯 .

中国专利 :CN113334243A ,2021-09-03

[6]

一种快速回弹的化学机械抛光垫及其制备方法和应用 [P].

陈朝奭 ;

刘相宝 ;

王凯 .

中国专利 :CN120080257A ,2025-06-03

[7]

抛光垫及其制备方法、化学机械抛光设备 [P].

邹小芳 ;

赵文砚 ;

段平平 ;

王晖 ;

张新豪 .

中国专利 :CN119772779A ,2025-04-08

[8]

化学机械抛光垫和化学机械抛光方法 [P].

西村秀树 ;

清水崇文 ;

栗山敬祐 ;

辻昭卫 .

中国专利 :CN1990183A ,2007-07-04

[9]

一种化学机械抛光垫及其制备方法 [P].

相红旗 ;

陈浩聪 ;

姚力军 .

中国专利 :CN114701105A ,2022-07-05

[10]

化学机械抛光垫及化学机械抛光方法 [P].

刘宇宏 ;

韩桂全 ;

雒建斌 ;

郭丹 ;

路新春 .

中国专利 :CN102601727A ,2012-07-25

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