基板装载架及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410280718.4

申请日：

2024-03-12

公开(公告)号：

CN120625006A

公开(公告)日：

2025-09-12

发明(设计)人：

谭立余海春戴晓东吴凯

申请人：

光驰科技（上海）有限公司

申请人地址：

200436 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267，297号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/22 C23C14/56

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

汪莉萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20240312
2025-09-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基板装载架及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN221895112U ,2024-10-25

[2]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[3]

真空镀膜夹具及真空镀膜设备 [P].

朱双林 ;

马国忠 .

中国专利 :CN119162552A ,2024-12-20

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[5]

镀膜伞架及真空镀膜设备 [P].

邵鑫 ;

龙汝磊 .

中国专利 :CN220827455U ,2024-04-23

[6]

真空封闭门、真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN221956186U ,2024-11-05

[7]

蒸发装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194365A ,2024-12-27

[8]

真空镀膜设备及基板的搬运方法 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN120624988A ,2025-09-12

[9]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[10]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

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