一种环栅晶体管器件及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202310336228.7
申请日
2023-03-31
公开(公告)号
CN116207155B
公开(公告)日
2025-09-05
发明(设计)人
刘强 俞文杰
申请人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号
H10D30/62
IPC分类号
H10D62/10 H10D30/01 H10D64/27
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
余明伟
法律状态
授权
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种环栅晶体管器件的制备方法及环栅晶体管器件 [P]. 
徐文清 ;
史小平 ;
孙春雨 ;
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[2]
晶体管器件及其制备方法 [P]. 
张昇 ;
魏珂 ;
刘新宇 .
中国专利 :CN115346930A ,2022-11-15
[3]
一种环栅晶体管结构及其制备方法 [P]. 
刘强 ;
俞文杰 .
中国专利 :CN116137293B ,2025-09-05
[4]
环栅晶体管结构及其制备方法 [P]. 
刘金营 ;
平延磊 ;
张显 ;
吴莊莊 .
中国专利 :CN113299555B ,2021-08-24
[5]
环栅晶体管的制备方法 [P]. 
刘强 ;
俞文杰 ;
任青华 ;
陈治西 ;
刘晨鹤 ;
赵兰天 ;
陈玲丽 ;
王曦 .
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[6]
绝缘栅双极晶体管器件及其制备方法 [P]. 
高鹏 ;
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毕超 .
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[7]
一种晶体管器件及其制备方法 [P]. 
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[8]
晶体管器件和制备晶体管器件的方法 [P]. 
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F·希尔勒 ;
D·拉福雷特 ;
P·拉格 ;
C·欧瓦拉德 ;
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[9]
二维屏蔽栅晶体管器件及其制备方法 [P]. 
雷燮光 ;
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[10]
一种Y栅晶体管器件制造方法及晶体管器件 [P]. 
吴淑芳 ;
许孟凯 ;
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林张鸿 ;
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