学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

光刻机的检测系统及其检测方法、光刻机

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510438175.9
申请日：
2025-04-09
公开(公告)号：
CN120044766B
公开(公告)日：
2025-09-19
发明(设计)人：
王立君
申请人：
长鑫新桥存储技术有限公司
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区新淮大道2788号
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260
代理人：
支珊
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-27 公开 公开
2025-09-19 授权 授权
2025-06-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250409
共 50 条
[1]
光刻机的检测系统及其检测方法、光刻机 [P]. 
王立君 .
中国专利 :CN120044766A ,2025-05-27
[2]
光刻机照明系统损伤检测方法 [P]. 
李玉华 ;
黄发彬 ;
林辉 ;
吴长明 ;
姚振海 ;
金乐群 .
中国专利 :CN113515022A ,2021-10-19
[3]
光刻机挡板精度的检测方法 [P]. 
沈小娟 .
中国专利 :CN113900351A ,2022-01-07
[4]
光刻机 [P]. 
徐程 ;
朱诚 .
中国专利 :CN302849891S ,2014-06-18
[5]
光刻机 [P]. 
徐程 ;
朱诚 .
中国专利 :CN303248851S ,2015-06-17
[6]
光刻机 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
倪家辉 .
中国专利 :CN308485156S ,2024-02-23
[7]
光刻机 [P]. 
温伟华 .
中国专利 :CN305381784S ,2019-10-11
[8]
光刻机照明系统及光刻机 [P]. 
金成昱 ;
金帅炯 ;
梁贤石 ;
丁明正 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
刘金彪 ;
白国斌 .
中国专利 :CN114675494A ,2022-06-28
[9]
光刻机对准参数的检测装置及其检测方法 [P]. 
夏婷婷 .
中国专利 :CN102156392A ,2011-08-17
[10]
光刻机漏光检测方法及系统 [P]. 
钱志浩 .
中国专利 :CN102402122B ,2012-04-04
12345