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用于整合压力和流量控制器的方法和设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202480011162.7
申请日：
2024-02-15
公开(公告)号：
CN120604189A
公开(公告)日：
2025-09-05
发明(设计)人：
丁军华 麦可·丽巴西
申请人：
MKS股份有限公司
申请人地址：
美国麻萨诸塞州
IPC主分类号：
G05D16/20
IPC分类号：
G05D7/06 G05B11/42
代理机构：
北京寰华知识产权代理有限公司 11408
代理人：
郭仁建;林文雄
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-05 公开 公开
共 50 条
[1]
质量流量控制器和流量控制方法 [P]. 
米田丰 ;
田中祐纪 .
中国专利 :CN102467132A ,2012-05-23
[2]
流量控制方法和质量流量控制器 [P]. 
邹义涛 ;
张海洋 ;
赵迪 .
中国专利 :CN119105560A ,2024-12-10
[3]
高精度基于压力的流量控制器 [P]. 
D·T·穆德 ;
W·W·怀特 .
中国专利 :CN100422616C ,2005-10-26
[4]
气体流量控制器和用于气体流量控制器的阀销 [P]. 
安德鲁·米勒 ;
马克·布朗 ;
菲利普·狄克逊 .
中国专利 :CN111565784A ,2020-08-21
[5]
流量控制阀和质量流量控制器 [P]. 
陈正堂 ;
王贲 ;
邓博文 .
中国专利 :CN119755345A ,2025-04-04
[6]
流量控制阀和质量流量控制器 [P]. 
武旭东 ;
苏乾益 ;
杜井庆 .
中国专利 :CN119712887A ,2025-03-28
[7]
质量流量控制器和控制器算法 [P]. 
约翰·勒尔 ;
伯温·班纳斯 ;
杰弗里·怀特利 .
中国专利 :CN113272759A ,2021-08-17
[8]
质量流量控制器和控制器算法 [P]. 
约翰·勒尔 ;
伯温·班纳斯 ;
杰弗里·怀特利 .
美国专利 :CN113272759B ,2024-11-22
[9]
用于气体流量控制的方法和设备 [P]. 
J·R·蒙科夫斯基 ;
J·富兰克林 ;
程九逸 ;
丁韬 ;
A·什马科夫 ;
T·欧文斯 .
中国专利 :CN107924199A ,2018-04-17
[10]
用于气体流量控制的方法和设备 [P]. 
J·R·蒙科夫斯基 ;
J·富兰克林 ;
程九逸 ;
丁韬 ;
A·什马科夫 ;
T·欧文斯 .
美国专利 :CN118151685A ,2024-06-07
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