自适应可变间距晶圆扫描系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111663766.4

申请日：

2021-12-30

公开(公告)号：

CN114496845B

公开(公告)日：

2025-09-02

发明(设计)人：

唐宝国杨嘉斌

申请人：

上海至纯洁净系统科技股份有限公司合肥至汇半导体应用技术有限公司

申请人地址：

200241 上海市闵行区紫海路170号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105

代理人：

周涛

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	授权	授权

共 50 条

[1]

自适应可变间距晶圆扫描系统及方法 [P].

唐宝国 ;

杨嘉斌 .

中国专利 :CN114496845A ,2022-05-13

[2]

晶圆扫描系统、晶圆扫描方法及电子设备 [P].

邢举 .

中国专利 :CN120261339A ,2025-07-04

[3]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN205376475U ,2016-07-06

[4]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN105575845B ,2016-05-11

[5]

晶圆扫描装置及其扫描方法 [P].

龚昱 ;

朱飞 ;

余君山 .

中国专利 :CN117352441A ,2024-01-05

[6]

晶圆扫描装置及其扫描方法 [P].

龚昱 ;

朱飞 ;

余君山 .

中国专利 :CN117352441B ,2024-02-09

[7]

自适应可变轿车尾翼 [P].

陈侃 ;

黄颖杰 ;

周翔 ;

陆子青 ;

陈扬 ;

戴超 ;

刘金玲 ;

章春潮 ;

张子良 ;

唐晓峰 .

中国专利 :CN201283899Y ,2009-08-05

[8]

一种晶圆扫描系统 [P].

缪燕 ;

丁欣 .

中国专利 :CN216849847U ,2022-06-28

[9]

一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统、扫描方法 [P].

张怀东 ;

程实然 ;

于翔 ;

张瑶瑶 ;

邹志文 ;

崔虎山 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN115700899A ,2023-02-07

[10]

晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统 [P].

张波 ;

李磊 ;

陈君辉 .

中国专利 :CN119780116A ,2025-04-08

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