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用于计量系统的波前传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380091635.4
申请日：
2023-12-21
公开(公告)号：
CN120693573A
公开(公告)日：
2025-09-23
发明(设计)人：
邓凡
H·拉尧贝里松
A·K·罗布
S·斯米尔诺夫
A·朱博尔
R·C·齐默曼
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
郑振
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-23 | 公开 | 公开 |