共 50 条
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研磨ヘッド、研磨装置、および研磨方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240035679
申请日：
2024-03-08
公开(公告)号：
JP2025136814A
公开(公告)日：
2025-09-19
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B24B21/08
IPC分类号：
B24B1/00
B24B21/00
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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