一种用于大口径光学元件离子束加工的装调装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310990787.X

申请日：

2023-08-07

公开(公告)号：

CN117024004B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

栾晓雨蒋晓龙王静轩方振华王海军廖威

申请人：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请人地址：

621900 四川省绵阳市绵山路64号

IPC主分类号：

C03C23/00

IPC分类号：

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

石佳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种大口径光学元件的离子束加工装置 [P].

宋驰 ;

张鑫 ;

殷龙海 ;

尹小林 ;

张斌智 ;

李鑫 ;

黄贺 ;

张乐 .

中国专利 :CN215680604U ,2022-01-28

[2]

一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法 [P].

李云 ;

王安定 ;

付韬韬 ;

邢廷文 .

中国专利 :CN103831675B ,2014-06-04

[3]

一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置 [P].

聂凤明 ;

王大森 ;

张广平 ;

郭海林 ;

裴宁 ;

李晓静 ;

张旭 ;

周静 ;

李维杰 .

中国专利 :CN110216548A ,2019-09-10

[4]

大口径光学元件装调装置及其装调方法 [P].

安其昌 ;

吴小霞 ;

林旭东 ;

张景旭 ;

李洪文 ;

王建立 ;

陈涛 .

中国专利 :CN114137736B ,2022-03-04

[5]

一种大口径光学元件装调装置 [P].

张亮 ;

徐旭 ;

独伟锋 ;

周海 ;

刘长春 ;

袁晓东 ;

陈清海 .

中国专利 :CN204989582U ,2016-01-20

[6]

一种用于大口径光学元件高洁净离子束刻蚀的装置及方法 [P].

蒋晓龙 ;

倪卫 ;

朱启华 ;

栾晓雨 ;

廖威 ;

谭宁 ;

王成程 ;

蒋晓东 .

中国专利 :CN118366832A ,2024-07-19

[7]

大口径光学元件辅助装调方法 [P].

安其昌 ;

吴小霞 ;

林旭东 ;

王建立 ;

陈涛 ;

李洪文 .

中国专利 :CN112558318B ,2021-03-26

[8]

用于大口径光学元件离子束抛光的翻转设备 [P].

邓伟杰 ;

尹小林 ;

李英杰 ;

唐瓦 ;

张鑫 ;

张峰 .

中国专利 :CN105290917B ,2016-02-03

[9]

用于辅助装调大口径光学元件的装置和方法 [P].

安其昌 ;

吴小霞 ;

王建立 ;

陈涛 ;

李洪文 .

中国专利 :CN116009179B ,2025-03-21

[10]

大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法 [P].

王震 ;

许乔 ;

卫耀伟 ;

王健 ;

李树刚 ;

刘民才 ;

张飞 ;

唐明 ;

吴倩 ;

罗晋 ;

罗振飞 ;

周永勤 ;

程建国 ;

白友民 .

中国专利 :CN111330877A ,2020-06-26

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