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流体控制装置、流体控制阀的控制方法、流体控制方法、以及流体控制程序
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510392190.4
申请日：
2025-03-31
公开(公告)号：
CN120780034A
公开(公告)日：
2025-10-14
发明(设计)人：
中家佑吾
西里洋
申请人：
株式会社堀场STEC
申请人地址：
日本京都府京都市
IPC主分类号：
G05D7/06
IPC分类号：
代理机构：
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286
代理人：
金玉兰;周爽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-14 | 公开 | 公开 |