有机溶剂回收装置、衬底处理装置及有机溶剂回收方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510262281.6

申请日：

2025-03-06

公开(公告)号：

CN120695642A

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

岩尾通矩吉田幸史植村知浩南翔耀上田悠介

申请人：

株式会社斯库林集团

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

B01D61/00

IPC分类号：

B01D36/00 B01D3/00 C07C29/76 C07C31/10 H01L21/67

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

叶明明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	公开	公开

共 50 条

[1]

有机溶剂回收装置、衬底处理装置及有机溶剂回收方法 [P].

岩尾通矩 ;

吉田幸史 ;

植村知浩 ;

南翔耀 ;

上田悠介 .

日本专利 :CN120679345A ,2025-09-23

[2]

有机溶剂回收装置、衬底处理装置及有机溶剂回收方法 [P].

岩尾通矩 ;

吉田幸史 ;

植村知浩 ;

南翔耀 ;

上田悠介 .

日本专利 :CN120662118A ,2025-09-19

[3]

有机溶剂回收装置、基板处理系统及有机溶剂回收方法 [P].

岩尾通矩 ;

吉田幸史 ;

植村知浩 ;

上田悠介 ;

南翔耀 ;

岩畑翔太 .

日本专利 :CN120679187A ,2025-09-23

[4]

有机溶剂回收系统及有机溶剂回收方法 [P].

坂口瞬 ;

林敏明 .

中国专利 :CN110035816A ,2019-07-19

[5]

喷漆有机溶剂废气回收装置以及有机溶剂回收方法 [P].

傅志森 ;

傅太平 ;

唐源欣 ;

傅金栋 .

中国专利 :CN102389684B ,2012-03-28

[6]

喷漆有机溶剂废气回收装置以及有机溶剂回收方法 [P].

傅太平 ;

傅志森 ;

黄心明 ;

傅汉文 .

中国专利 :CN103316560A ,2013-09-25

[7]

有机溶剂回收装置 [P].

成晓航 ;

成刚 .

中国专利 :CN2858039Y ,2007-01-17

[8]

有机溶剂回收装置 [P].

傅太平 .

中国专利 :CN2785692Y ,2006-06-07

[9]

有机溶剂回收装置 [P].

叶芳文 ;

朱珊伟 ;

王子乐 .

中国专利 :CN216222985U ,2022-04-08

[10]

有机溶剂回收装置 [P].

李泽清 ;

江荣生 .

中国专利 :CN201529416U ,2010-07-21

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