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射频功率调节电路、射频电源设备及射频电源系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510883009.X
申请日：
2025-06-28
公开(公告)号：
CN120723014A
公开(公告)日：
2025-09-30
发明(设计)人：
王树晓
林炯康
陈亚梯
申请人：
深圳市瀚强科技股份有限公司
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园D1栋1101
IPC主分类号：
G05F1/66
IPC分类号：
代理机构：
深圳市三环深创专利代理有限公司 44480
代理人：
李莉
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-30 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G05F 1/66申请日:20250628 |