超高纯电子级多晶硅及其提纯方法、多晶硅棒及其提纯方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510915857.4
申请日
2023-02-14
公开(公告)号
CN120736528A
公开(公告)日
2025-10-03
发明(设计)人
田新 蒋文武 崔会为
申请人
江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请人地址
221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号
IPC主分类号
C01B33/037
IPC分类号
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
梁柏祺
法律状态
公开
国省代码
江苏省 徐州市
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共 50 条
[1]
超高纯电子级多晶硅的提纯方法及其用途 [P]. 
张天雨 ;
田新 ;
蒋文武 ;
吴鹏 ;
崔会为 .
中国专利 :CN116119671B ,2025-06-03
[2]
多晶硅棒、多晶硅杆及其制造方法 [P]. 
星野成大 ;
冈田哲郎 ;
石田昌彦 .
中国专利 :CN111455461A ,2020-07-28
[3]
多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备 [P]. 
赵友文 ;
董志远 ;
田宝利 .
中国专利 :CN101665253A ,2010-03-10
[4]
提纯多晶硅的方法 [P]. 
王书杰 ;
孟静 .
中国专利 :CN108950686A ,2018-12-07
[5]
多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN106414325A ,2017-02-15
[6]
多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN110482555A ,2019-11-22
[7]
多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN110481830A ,2019-11-22
[8]
多晶硅棒及其制造方法 [P]. 
纸川敬充 ;
惠本美树 ;
浅野卓也 .
中国专利 :CN114206777A ,2022-03-18
[9]
多晶硅棒及其制造方法 [P]. 
久保田纯一 ;
小田开行 .
中国专利 :CN1088444C ,1998-09-30
[10]
电子级多晶硅棒热破碎方法 [P]. 
闫家强 ;
张天雨 ;
田新 ;
吴鹏 ;
韩秀娟 .
中国专利 :CN114345511A ,2022-04-15