一种硅片夹持装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422655178.1

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN223390539U

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

邹嘉豪朱俊沈家军朱凡

申请人：

帝尔激光科技（无锡）有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区春晖东路142号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H10F71/00

代理机构：

武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224

代理人：

徐亚亚

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片夹持镊子 [P].

唐晓海 ;

刘霖 .

中国专利 :CN214817880U ,2021-11-23

[2]

一种硅片夹持装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN211980593U ,2020-11-20

[3]

一种硅片研磨夹持装置 [P].

吉成东 .

中国专利 :CN205799200U ,2016-12-14

[4]

一种超薄硅片夹持装置 [P].

王小波 ;

章泽润 .

中国专利 :CN204991675U ,2016-01-20

[5]

一种硅片夹持装置及硅片倒片器 [P].

李刚 ;

赵超 ;

刘博宇 ;

周福龙 .

中国专利 :CN209199893U ,2019-08-02

[6]

硅片夹持装置和硅片检测装置 [P].

郑豪 .

中国专利 :CN222826394U ,2025-05-02

[7]

一种硅片切割用夹持装置 [P].

李茂欣 .

中国专利 :CN213227051U ,2021-05-18

[8]

一种硅片表面研磨夹持装置 [P].

徐力 ;

王森 .

中国专利 :CN220613571U ,2024-03-19

[9]

一种超薄硅片的夹持装置 [P].

范维涛 ;

张鑫 ;

赵雷 ;

黄钧林 ;

程晶 ;

龚小文 ;

苏杨杨 ;

孙晨财 ;

徐长志 .

中国专利 :CN214012924U ,2021-08-20

[10]

一种硅片夹持装置 [P].

张少飞 ;

史进 .

中国专利 :CN110416150A ,2019-11-05

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