控制装置、控制方法以及程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180019351.5

申请日：

2021-03-05

公开(公告)号：

CN115244650B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

前田荣裕下田敏正三石创森博史高畑贵匠吉桥正博塩见隆前原义弘

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

舒艳君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	授权	授权

共 50 条

[1]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

斋藤昭彦 ;

山下秀和 ;

笹原淳 ;

屋纳光一朗 ;

北内洋介 ;

田中瑞彦 ;

吉田雅弘 .

中国专利 :CN115349048A ,2022-11-15

[2]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

小松正之 ;

矢野裕信 ;

矢部正明 ;

峰泽聪司 ;

丸山一郎 .

中国专利 :CN107431377A ,2017-12-01

[3]

控制方法、控制装置、以及程序 [P].

杉山真史 .

中国专利 :CN114207591A ,2022-03-18

[4]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

松永英树 ;

土屋成光 ;

鹰野聪明 .

中国专利 :CN113574963A ,2021-10-29

[5]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

鸟居邦在 ;

中井干夫 ;

工藤祐介 .

中国专利 :CN112154018B ,2020-12-29

[6]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

松永英树 ;

土屋成光 ;

大高优 ;

鹰野聪明 ;

小野寺圣 .

中国专利 :CN113615256A ,2021-11-05

[7]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

松崎灿心 ;

小室美纱 .

日本专利 :CN120835848A ,2025-10-24

[8]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

金谷勇気 ;

矢尾板宏心 ;

宫口秀平 ;

广田拓也 ;

弗雷德·谢佛尔 ;

托斯汀·柯因思 .

中国专利 :CN107272549A ,2017-10-20

[9]

程序、控制方法以及控制装置 [P].

桥本健一 .

中国专利 :CN102460384A ,2012-05-16

[10]

控制装置、控制方法以及程序 [P].

浅井大史 ;

土井裕介 ;

玉田雄三 .

中国专利 :CN111417906A ,2020-07-14

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