一种物镜防污染装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110351718.5

申请日：

2021-03-31

公开(公告)号：

CN115145122B

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

程斌斌湛宾洲王成张洪博王健

申请人：

上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种物镜防污染装置 [P].

程斌斌 ;

湛宾洲 ;

王成 ;

张洪博 ;

王健 .

中国专利 :CN115145122A ,2022-10-04

[2]

物镜防污染装置 [P].

王锋 ;

郁健 ;

湛宾洲 ;

章富平 ;

张洪博 ;

韦婧宇 ;

张丽 ;

王伟伟 .

中国专利 :CN110764368A ,2020-02-07

[3]

防污染装置 [P].

韩承刚 ;

盛军 ;

李一滕 .

中国专利 :CN205858284U ,2017-01-04

[4]

防污染装置 [P].

刘效岩 .

中国专利 :CN202366896U ,2012-08-08

[5]

防污染装置 [P].

赵亚峰 ;

王义国 ;

陈凌霄 ;

张利 ;

韦庆胜 ;

韩文华 ;

张中江 ;

姜兆新 ;

李海军 ;

王新亚 ;

姚军 ;

张研扬 .

中国专利 :CN205297476U ,2016-06-08

[6]

防污染装置 [P].

刘效岩 .

中国专利 :CN102357477B ,2012-02-22

[7]

镜头防污染装置及防污染镜头 [P].

陈小平 ;

李翔 .

中国专利 :CN207521411U ,2018-06-22

[8]

一种防污染装置 [P].

颜学龙 .

中国专利 :CN215974160U ,2022-03-08

[9]

一种防污染装置 [P].

王铸海 ;

叶慧 .

中国专利 :CN207016784U ,2018-02-16

[10]

防污染装置、防污染方法及光刻设备 [P].

洪国 ;

湛宾洲 ;

王成 ;

杨若霁 ;

李运锋 .

中国专利 :CN117518727A ,2024-02-06

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