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晶圆定位装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422763467.3
申请日：
2024-11-12
公开(公告)号：
CN223427477U
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
嵩佰亮
马林
雷越森
梁惠宁
陈万群
王正根
申请人：
迈为技术（珠海）有限公司
申请人地址：
519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室（集中办公区）
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/67
H10H29/03
代理机构：
北京泽方誉航专利代理事务所(普通合伙) 11884
代理人：
伍尚海
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-10 | 授权 | 授权 |