调节源发生器和偏置发生器之间相位延迟的设备和方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410381071.4
申请日
2024-03-29
公开(公告)号
CN120727548A
公开(公告)日
2025-09-30
发明(设计)人
王星旸 曲智
申请人
英特尔NDTM美国有限公司
申请人地址
美国
IPC主分类号
H01J37/32
IPC分类号
H01L21/67 H01L21/3213
代理机构
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
龙淳;杨震
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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