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一种百纳米级栅极及其制备方法和应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210218139.8
申请日：
2022-03-01
公开(公告)号：
CN114724930B
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
李国强
申请人：
广州市众拓光电科技有限公司
申请人地址：
510000 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
H01L21/3213
H01L21/28
H10D30/47
G03F7/20
代理机构：
广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326
代理人：
刘新年
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
广州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-03 | 授权 | 授权 |