腔门的预测性维护系统和预测性维护方法及半导体设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510839727.7

申请日：

2025-06-20

公开(公告)号：

CN120709189A

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

杨平

申请人：

上海稷以科技有限公司

申请人地址：

200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

徐伟

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	公开	公开
2025-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250620

共 50 条

[1]

预测性维护方法和预测性维护设备 [P].

大森拓 .

中国专利 :CN114371640A ,2022-04-19

[2]

预测性维护系统、预测性维护方法及掘进机 [P].

赵洪林 ;

刘佳成 ;

赵永乐 .

中国专利 :CN113819958A ,2021-12-21

[3]

预测性维护方法和系统 [P].

T·哈克宁 ;

H·罗顿宁 ;

T·马丁卡里欧 ;

M·帕勒曼 .

中国专利 :CN104620268A ,2015-05-13

[4]

车辆SCR系统预测性维护方法及预测性维护系统 [P].

朱宏 ;

王锐 ;

肖雷雷 .

中国专利 :CN114278420A ,2022-04-05

[5]

一种预测性维护的方法及预测性维护设备 [P].

路玮 .

中国专利 :CN110705133B ,2020-01-17

[6]

预测性维护系统和方法 [P].

L·艾尔达尔 ;

M·T·S·丹尼尔森 ;

A·S·拉森 .

:CN117957619A ,2024-04-30

[7]

用于预测性维护的方法和系统 [P].

D·P·霍纳 .

美国专利 :CN120517334A ,2025-08-22

[8]

预测性维护 [P].

大卫·约翰·霍尔登 ;

埃里克·戈登·米勒 ;

安德鲁·约翰·科金 ;

贝尔特-滕·伍尔登 ;

迈克尔·A·斯蒂德 ;

蒂莫西·詹姆斯·瓦尔多夫斯基 ;

卡尔尼卡·戈埃尔 .

中国专利 :CN108292256A ,2018-07-17

[9]

预测性维护平台 [P].

C·R·康克林 .

美国专利 :CN118171831A ,2024-06-11

[10]

一种阱维护预测装置、维护预测方法及半导体设备 [P].

路希龙 ;

董文惠 ;

吴凤丽 .

中国专利 :CN121096928A ,2025-12-09

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