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一种单片晶圆超声波清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511245427.2
申请日：
2025-09-02
公开(公告)号：
CN120714959A
公开(公告)日：
2025-09-30
发明(设计)人：
张伟
申请人：
常州思派智能科技有限公司
申请人地址：
213022 江苏省常州市新北区新桥街道汉江西路91号B座228室
IPC主分类号：
B08B3/14
IPC分类号：
B08B3/12
B01D29/64
B01D29/72
H01L21/02
代理机构：
北京宏铎知识产权代理有限公司 34250
代理人：
丘善棋
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-30 | 公开 | 公开 |