一种研磨液混合循环系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421591025.9
申请日
2024-07-05
公开(公告)号
CN223381419U
公开(公告)日
2025-09-26
发明(设计)人
时昌杰 洪梦华 古智扬 田鑫 刘佳
申请人
上海至纯系统集成有限公司
申请人地址
200000 上海市闵行区紫海路170号2幢3、4层
IPC主分类号
B01F25/51
IPC分类号
B01F35/221 B01F35/11
代理机构
北京沁优知识产权代理有限公司 11684
代理人
林捷达
法律状态
授权
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
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