光阑微孔的超快激光加工系统及加工方法

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专利类型
发明
申请号
CN202510995293.X
申请日
2025-07-18
公开(公告)号
CN120480447B
公开(公告)日
2025-10-10
发明(设计)人
闫剑锋 崔树静 李佳群 王宁 韩昊泽 罗玛 李冰
申请人
清华大学 无锡纳斯凯半导体科技有限公司
申请人地址
100084 北京市海淀区清华园1号
IPC主分类号
B23K26/382
IPC分类号
B23K26/70
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
张培培
法律状态
公开
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
光阑微孔的超快激光加工系统及加工方法 [P]. 
闫剑锋 ;
崔树静 ;
李佳群 ;
王宁 ;
韩昊泽 ;
罗玛 ;
李冰 .
中国专利 :CN120480447A ,2025-08-15
[2]
超快激光加工雾化片微孔的方法 [P]. 
朱建海 ;
张波 ;
杨小君 ;
尹怀东 ;
叶健峰 .
中国专利 :CN115555741A ,2023-01-03
[3]
一种超快激光加工微孔的在线监测系统及方法 [P]. 
黄禹 ;
荣佑民 ;
信国强 ;
陈龙 ;
李文元 .
中国专利 :CN120734514A ,2025-10-03
[4]
激光微孔加工方法及激光微孔加工设备 [P]. 
王昌焱 ;
谢圣君 ;
冯建华 ;
焦波 ;
张帅锋 ;
温尧明 ;
高云峰 .
中国专利 :CN103286452A ,2013-09-11
[5]
超快激光加工方法、系统、装置及应用 [P]. 
韩慧莉 ;
张璧 .
中国专利 :CN115673529A ,2023-02-03
[6]
超快激光加工方法、系统、装置及应用 [P]. 
韩慧莉 ;
张璧 .
中国专利 :CN115673529B ,2025-09-02
[7]
基于超快激光的陶瓷基板划片加工方法及系统 [P]. 
邓耀锋 ;
干天成 ;
龙明昇 ;
廖文 ;
吕启涛 ;
高云峰 .
中国专利 :CN115401337B ,2024-08-30
[8]
基于超快激光的陶瓷基板划片加工方法及系统 [P]. 
邓耀锋 ;
干天成 ;
龙明昇 ;
廖文 ;
吕启涛 ;
高云峰 .
中国专利 :CN115401337A ,2022-11-29
[9]
超快激光精密加工装置及其加工方法 [P]. 
杨亚涛 ;
乐庸辉 ;
陶凯 ;
高峰 .
中国专利 :CN115008029A ,2022-09-06
[10]
超快激光精密加工装置及其加工方法 [P]. 
杨亚涛 ;
乐庸辉 ;
陶凯 ;
高峰 .
中国专利 :CN115008029B ,2024-09-03