一种单晶炉排气筒清理装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422856583.X
申请日
2024-11-22
公开(公告)号
CN223383229U
公开(公告)日
2025-09-26
发明(设计)人
田闰博 代俊乐 闫龙
申请人
西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号
B24B23/02
IPC分类号
B24B27/00 B24B27/033 B24B47/12 B24B55/10
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
姜精斌
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
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