熱処理装置および熱処理方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20240038556

申请日：

2024-03-13

公开(公告)号：

JP2025139619A

公开(公告)日：

2025-09-29

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/26

IPC分类号：

H01L21/324

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法律状态信息

共 50 条

[1]

熱処理方法および熱処理装置[ja] [P].

KATAOKA AKITSUGU ;

UENO YUMA .

日本专利 :JP2025119827A ,2025-08-15

[2]

熱処理方法および熱処理装置[ja] [P].

NAKAJIMA OMA .

日本专利 :JP2024116492A ,2024-08-28

[3]

熱処理装置および熱処理方法[ja] [P].

UENO TOMOHIRO .

日本专利 :JP2024126039A ,2024-09-20

[4]

熱処理方法および熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022081666A ,2022-05-31

[5]

熱処理方法および熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022075942A ,2022-05-18

[6]

熱処理装置および熱処理方法[ja] [P].

FUSE KAZUHIKO ;

SHIGEMASU SHOGO ;

MIYAWAKI SHINJI .

日本专利 :JP2024164526A ,2024-11-27

[7]

熱処理方法および熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025170981A ,2025-11-20

[8]

熱処理装置[ja] [P].

YAMADA TAKAYASU ;

SHIGEMASU SHOGO ;

EDAMOTO NOBUO .

日本专利 :JP2025033805A ,2025-03-13

[9]

熱処理装置[ja] [P].

TOBE RYUTA ;

MORI NAOTO ;

KITAZAWA TAKAHIRO .

日本专利 :JP2025033676A ,2025-03-13

[10]

熱処理方法[ja] [P].

TANIMURA HIDEAKI .

日本专利 :JP2025024510A ,2025-02-20

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