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ガリウム含有酸化物膜堆積用のガリウム前駆体[ja]
被引：0
申请号：
JP20230577289
申请日：
2022-06-17
公开(公告)号：
JP7749904B2
公开(公告)日：
2025-10-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/40
IPC分类号：
C23C16/455
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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