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パルス光生成装置及びパルス光生成方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20240055050
申请日
:
2024-03-28
公开(公告)号
:
JP2025152880A
公开(公告)日
:
2025-10-10
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H01S3/10
IPC分类号
:
H01S3/067
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
光パルス生成装置及び光パルス生成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7441780B2
,2024-03-01
[2]
パルス光生成装置及びパルス光生成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6659339B2
,2020-03-04
[3]
パルス光生成装置及びパルス光生成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7646957B1
,2025-03-17
[4]
パルス光生成装置、パルス光生成方法及び加工装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2025138859A
,2025-09-25
[5]
パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017204113A1
,2019-04-25
[6]
パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6828742B2
,2021-02-10
[7]
パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6662453B2
,2020-03-11
[8]
パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017204112A1
,2019-03-22
[9]
パルス生成装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5697066B1
,2015-04-08
[10]
パルス生成装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2025009445A
,2025-01-20
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