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化学机械抛光设备及晶圆传输方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511268735.7
申请日：
2025-05-20
公开(公告)号：
CN120941268A
公开(公告)日：
2025-11-14
发明(设计)人：
路新春
王同庆
夏佳琪
李长坤
王科
申请人：
华海清科（北京）科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室
IPC主分类号：
B24B37/10
IPC分类号：
B24B37/34
B24B37/005
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/10申请日:20250520 |
| 2025-11-14 | 公开 | 公开 |