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超表面偏振掩模版及基于超表面偏振掩模版的光刻方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511075070.8
申请日：
2025-08-01
公开(公告)号：
CN120559941B
公开(公告)日：
2025-10-31
发明(设计)人：
岳夫永 李相平
申请人：
中国科学技术大学
申请人地址：
230026 安徽省合肥市金寨路96号
IPC主分类号：
G03F1/38
IPC分类号：
G03F1/76 G03F7/20
代理机构：
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268
代理人：
朱阳波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 六安市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-16 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/38申请日:20250801
2025-10-31 授权 授权
2025-08-29 公开 公开
共 50 条
[1]
超表面偏振掩模版及基于超表面偏振掩模版的光刻方法 [P]. 
岳夫永 ;
李相平 .
中国专利 :CN120559941A ,2025-08-29
[2]
掩模版版图的修正方法、掩模版、超表面结构 [P]. 
孙磊 ;
何健民 ;
史坦 ;
王宇辉 .
中国专利 :CN120029002A ,2025-05-23
[3]
掩模版版图的修正方法、掩模版、超表面结构 [P]. 
何健民 ;
孙磊 ;
史坦 ;
王宇辉 .
中国专利 :CN120029001A ,2025-05-23
[4]
基于介质结构的偏振无关超表面设计方法及超表面透镜 [P]. 
吴一辉 ;
赵天宇 ;
邢燚 ;
王越 ;
武杰 ;
周文超 .
中国专利 :CN115755384B ,2025-04-22
[5]
超表面及基于折射-超表面混合设计的偏振像差补偿方法 [P]. 
姚东 ;
石非凡 ;
卢家腾 ;
朴东原 .
中国专利 :CN120703892A ,2025-09-26
[6]
基于偏振的多功能超表面结构、超表面元件及加密方法 [P]. 
郑国兴 ;
陶金 ;
李子乐 ;
武霖 ;
余少华 .
中国专利 :CN109814195B ,2019-05-28
[7]
超表面及基于折射-超表面混合设计的偏振像差补偿方法 [P]. 
姚东 ;
石非凡 ;
卢家腾 ;
朴东原 .
中国专利 :CN120703892B ,2025-11-04
[8]
超表面偏振调控器 [P]. 
郝加明 ;
李虎 ;
李志伟 ;
许昊 ;
俞伟伟 ;
杨名 ;
戴宁 .
中国专利 :CN205608331U ,2016-09-28
[9]
超表面偏振调控的消色差方法 [P]. 
权乃承 .
中国专利 :CN114185125B ,2024-04-02
[10]
超表面偏振调控的消色差方法 [P]. 
权乃承 .
中国专利 :CN114185125A ,2022-03-15
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