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一种检测设备的检测方法以及检测设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411074839.X
申请日：
2019-09-30
公开(公告)号：
CN119153378B
公开(公告)日：
2025-11-21
发明(设计)人：
陈鲁 黄有为 王天民 庞芝亮 崔高增
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414
代理人：
叶思
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-01-03 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20190930
2025-11-21 授权 授权
2024-12-17 公开 公开
共 50 条
[1]
一种检测设备的对准方法以及检测设备 [P]. 
陈鲁 ;
黄有为 ;
王天民 ;
庞芝亮 ;
崔高增 .
中国专利 :CN119153378A ,2024-12-17
[2]
一种检测方法、检测设备的对准方法以及检测设备 [P]. 
陈鲁 ;
黄有为 ;
王天民 ;
庞芝亮 ;
崔高增 .
中国专利 :CN112577970B ,2024-10-15
[3]
一种检测方法、检测设备的对准方法以及检测设备 [P]. 
陈鲁 ;
黄有为 ;
王天民 ;
庞芝亮 ;
崔高增 .
中国专利 :CN112577970A ,2021-03-30
[4]
检测方法以及检测设备 [P]. 
周方 ;
邓贵兵 .
中国专利 :CN109855563B ,2024-06-18
[5]
检测方法以及检测设备 [P]. 
周方 ;
邓贵兵 .
中国专利 :CN109855563A ,2019-06-07
[6]
一种检测方法以及检测设备 [P]. 
何方 .
中国专利 :CN109277313A ,2019-01-29
[7]
检测方法以及检测设备 [P]. 
黄弘毅 ;
顾廷 ;
加田智之 ;
张翠翠 .
中国专利 :CN113567602A ,2021-10-29
[8]
检测方法以及检测设备 [P]. 
黄弘毅 ;
顾廷 ;
加田智之 ;
张翠翠 .
日本专利 :CN113567602B ,2024-11-22
[9]
一种检测方法、装置以及光学检测设备 [P]. 
张超 ;
康豪 ;
张骏 ;
邓柳明 .
中国专利 :CN113903674B ,2025-09-12
[10]
一种检测方法、装置以及光学检测设备 [P]. 
张超 ;
康豪 ;
张骏 ;
邓柳明 .
中国专利 :CN113903674A ,2022-01-07
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