一种真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202522081093.1

申请日：

2025-09-28

公开(公告)号：

CN223522657U

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

朱大军郭子强李祥明

申请人：

泽鸿半导体设备科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇珠江南路888号科技创业园3号楼3120室

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/24

代理机构：

苏州新协专利代理事务所(普通合伙) 32857

代理人：

吴昌旭

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN223255407U ,2025-08-22

[2]

一种真空镀膜舱及真空镀膜设备 [P].

冯荣达 ;

朱宇彬 ;

张德云 .

中国专利 :CN222100140U ,2024-12-03

[3]

真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN221895098U ,2024-10-25

[4]

真空镀膜设备 [P].

任泽明 ;

廖骁飞 ;

余长勇 ;

王号 ;

吴攀 ;

唐志奇 ;

杨帆 ;

杨进仕 .

中国专利 :CN216891207U ,2022-07-05

[5]

真空镀膜设备 [P].

邵建鑫 ;

冯旭光 ;

李通光 .

中国专利 :CN217052366U ,2022-07-26

[6]

真空镀膜设备 [P].

陈培绍 ;

吴标平 ;

彭中业 ;

张建宁 .

中国专利 :CN215103480U ,2021-12-10

[7]

真空镀膜设备 [P].

王昆 .

中国专利 :CN209555362U ,2019-10-29

[8]

真空镀膜设备 [P].

陈庆丰 ;

陈敬尧 .

中国专利 :CN204570028U ,2015-08-19

[9]

真空镀膜设备 [P].

柯荣锋 ;

李硕 ;

于甄 ;

常家华 .

中国专利 :CN207958494U ,2018-10-12

[10]

真空镀膜设备 [P].

张笑 .

中国专利 :CN207452247U ,2018-06-05

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