金刚石薄膜的制造方法及金刚石薄膜制造装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480017541.7

申请日：

2024-06-06

公开(公告)号：

CN120858197A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

安藤瞭汰长町学辰巳夏生

申请人：

日新电机株式会社

申请人地址：

日本京都府京都市右京区梅津高亩町47番地

IPC主分类号：

C23C16/27

IPC分类号：

C01B32/26 C23C16/505 C30B29/04 H05H1/46

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

文小莉;余娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/27申请日:20240606

共 50 条

[1]

纳米晶体金刚石薄膜、其制造方法及使用纳米晶体金刚石薄膜的装置 [P].

蒲生秀典 ;

安藤寿浩 .

中国专利 :CN1957116A ,2007-05-02

[2]

金刚石单晶薄膜的制造方法 [P].

张志明 ;

李胜华 ;

蔡琪玉 ;

闵乃本 .

中国专利 :CN1096548A ,1994-12-21

[3]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[4]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[5]

制造具有薄膜的金刚石单晶的方法和具有薄膜的金刚石单晶 [P].

植田晓彦 ;

目黑贵一 ;

山本喜之 ;

西林良树 ;

今井贵浩 .

中国专利 :CN101400833A ,2009-04-01

[6]

微细金刚石的制造方法及微细金刚石 [P].

杉原秀明 ;

工藤治彦 ;

酒井秀臣 .

中国专利 :CN101208462A ,2008-06-25

[7]

金刚石电极及金刚石电极的制造方法 [P].

永井达夫 ;

池宮範人 ;

吉田克仁 ;

吉田茂 .

中国专利 :CN102159750A ,2011-08-17

[8]

金刚石基板及金刚石基板的制造方法 [P].

会田英雄 ;

小山浩司 ;

池尻宪次郎 ;

金圣祐 .

中国专利 :CN105705683B ,2016-06-22

[9]

纳米金刚石的制造方法及纳米金刚石 [P].

间彦智明 ;

伊奈智秀 .

中国专利 :CN111282514A ,2020-06-16

[10]

金刚石基板及金刚石基板的制造方法 [P].

会田英雄 ;

小山浩司 ;

池尻宪次朗 ;

金圣祐 .

中国专利 :CN105579624B ,2016-05-11

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