声表面波传感器及其封装结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511192868.0

申请日：

2025-08-25

公开(公告)号：

CN120991924A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

史汝川韩文豪韩韬郭大鹏

申请人：

上海交通大学

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G01D5/48

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

贺妮妮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01D 5/48申请日:20250825
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

声表面波测量传感器 [P].

李天利 ;

朱克敏 .

中国专利 :CN201837405U ,2011-05-18

[2]

声表面波温度传感器 [P].

李强 ;

李红浪 .

中国专利 :CN102928111B ,2013-02-13

[3]

声表面波传感器 [P].

徐静波 ;

张海英 .

中国专利 :CN106404919A ,2017-02-15

[4]

一种声表面波传感器芯片结构及传感器 [P].

李红浪 ;

蔡飞达 ;

李鹏旭 ;

柯亚兵 ;

田亚会 ;

程利娜 .

中国专利 :CN107145931B ,2017-09-08

[5]

声表面波瓦斯传感器 [P].

张涛 ;

马宏伟 ;

刘婷 .

中国专利 :CN202230055U ,2012-05-23

[6]

声表面波传感器及其制作方法 [P].

罗景庭 ;

付琛 ;

陈泽荣 ;

解海雨 ;

冯晓莹 ;

马少敏 .

中国专利 :CN112198221A ,2021-01-08

[7]

柔性声表面波传感器制备方法及柔性声表面波传感器 [P].

梁晓瑞 ;

刘儒屹 ;

张磊 ;

谭秋林 .

中国专利 :CN121067931A ,2025-12-05

[8]

一种声表面波气体传感器 [P].

谢光忠 ;

唐诗 ;

马行方 ;

吴寸雪 ;

苏元捷 ;

太惠玲 ;

杜晓松 ;

杜鸿飞 .

中国专利 :CN105738470A ,2016-07-06

[9]

声表面波温度和压力传感器 [P].

索召和 ;

王云灵 ;

李志刚 ;

李晶 ;

曹占生 .

中国专利 :CN204439245U ,2015-07-01

[10]

一种声表面波传感器 [P].

欧欣 ;

孙米静 ;

张师斌 ;

郑鹏程 ;

何炬星 .

中国专利 :CN117782179A ,2024-03-29

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