提高重掺锑硅单晶氧含量的热场系统、单晶炉及拉晶方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511270976.5

申请日：

2025-09-08

公开(公告)号：

CN120797176A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

马武祥梅昊天郭可范吉祥

申请人：

麦斯克电子材料股份有限公司

申请人地址：

471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区

IPC主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B29/06

代理机构：

洛阳九创知识产权代理事务所(普通合伙) 41156

代理人：

张龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 15/14申请日:20250908
2025-10-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种提高重掺锑硅单晶氧含量的生产设备 [P].

张向东 ;

王林 ;

沈顺华 ;

毛荣昌 ;

俞顺根 .

中国专利 :CN209555404U ,2019-10-29

[2]

单晶炉热场及单晶炉及改善轻掺硼硅单晶OISF的方法 [P].

马英剑 ;

芮阳 ;

张昆 ;

马成 ;

徐慶晧 ;

王黎光 ;

曹启刚 ;

王忠保 .

中国专利 :CN117604613A ,2024-02-27

[3]

一种提高重掺锑硅单晶氧含量的生产工艺及其生产设备 [P].

张向东 ;

王林 ;

章斌 ;

毛荣昌 ;

程龙柱 .

中国专利 :CN109576779B ,2024-07-02

[4]

一种提高重掺锑硅单晶氧含量的生产工艺及其生产设备 [P].

张向东 ;

王林 ;

章斌 ;

毛荣昌 ;

程龙柱 .

中国专利 :CN109576779A ,2019-04-05

[5]

新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场 [P].

韩建超 ;

沈杨宇 .

中国专利 :CN202755095U ,2013-02-27

[6]

新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场 [P].

韩建超 ;

沈杨宇 .

中国专利 :CN103510154A ,2014-01-15

[7]

用于直拉硅单晶炉热场系统 [P].

殷国庆 ;

吴道庆 .

中国专利 :CN201512601U ,2010-06-23

[8]

单晶炉掺杂装置、单晶炉和重掺杂硅单晶的拉晶方法 [P].

伊冉 ;

王黎光 ;

芮阳 ;

蔡瑞 ;

李小红 ;

魏兴彤 ;

马吟霜 ;

王忠保 .

中国专利 :CN118880435A ,2024-11-01

[9]

提高掺锑硅单晶轴向电阻均匀性的方法及掺锑硅单晶 [P].

王军磊 ;

乔乐 ;

付明全 ;

徐志群 .

中国专利 :CN120330871A ,2025-07-18

[10]

提高掺硼高拉速单晶硅氧含量的热场装置及拉晶方法 [P].

马吟霜 ;

王黎光 ;

芮阳 ;

伊冉 ;

李小红 ;

魏兴彤 ;

蔡瑞 ;

杨少林 .

中国专利 :CN118422317A ,2024-08-02

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